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鉭棒及鉭片在電子集成工業中的主要應用

發布時間:2020-02-01 11:44:50 瀏覽次數 :

W、Ta、Mo、Nb、Hf、Cr、V、Zr 等這些元素稱為難熔金屬,它們的熔點一般高于 1650℃。 在廣泛應用的高溫結構 材料中,含有的難熔元素主要有W、Mo、Ta、Nb。20 世紀 50 年代以來,為滿足核動力系統、航空和航天工業的需求,國外研制出 TMZ 合金(Mo-0.5Ti-0.1Zr-0.02C), 是工業上應用最廣泛的鉬合金,也是最早用作高溫結構材料的難熔合金,但是鉬合金的低溫脆性極大限制了它的應用。

鉭片

在難熔金屬中,鉭的塑 - 脆轉變溫度較低(-196℃以下),在室溫下的加工性、焊接性、延展性和抗氧化性均優于鉬和鎢。 此外,鉭棒鉭片等鉭合金還具有高熔點(鉭熔點高達 2996℃)、耐腐蝕、優異的高溫強度以及無放射性等優點,被廣泛應用在電子行業、化工行業、航空航天、武器系統和醫療領域等。

鉭材料在電子行業的應用主要包括:鉭電容器、集成電路、電子管、存儲器件、無源器件。

1、鉭電容

化學穩定性好——鉭電容的耐腐蝕性很強,能在各種環境條件下,保持穩定的電性能和良好的物理化學性能。電阻率高,達到7.5×1012Ω?cm;介電常數大——介電常數大27.6,漏電流小。

鉭帶有閥金屬性質,其表面生成的致密氧化膜具有單向導電性,適于制作電容器。鉭電容器的容量大、體積小,其電容量是鋁電容器的3倍,而體積比鋁電容器卻小很多。鉭電容的工作溫度范圍為-80-200℃,可以滿足不同的溫度需求。除此之外,鉭電容還具有強穩定性和耐熱特性,成為電子行業中可靠性很高的一種材料,被廣泛應用于需要保證高可靠性的軍事技術和高技術領域。

1)計算機

包括主機、硬盤驅動器、軟盤驅動器、解碼器、插入式卡片、大容量存儲器。

2)通訊

包括手機、程控機、各種交換機、傳呼機、無繩電話等。

3)汽車

包括發動機控制、燃料控制、尾氣排放、剎車裝置、空氣袋和避碰裝置、汽車隨機故障診斷、汽車結構優化設計等。

4)家用電器

包括電視機、錄像機、音響系統、各種唱機、影碟機、隨身聽、收錄機。

5)辦公用品

包括復印機、傳真機、掃描儀、大屏幕顯示器。

6)儀器儀表

包括分析儀器、自動化裝置、儀表控制等。

7)航天航空

包括飛機控制、火箭衛星姿態控制、導航裝置、衛星發射。

8)國防軍工

包括坦克、火炮系統、巡航導彈、核武器發射、衛星導航等。

2、集成電路

1)鉭基薄膜的優點

高導電性、高熱穩定性;優異的耐腐蝕性能,對外來原子的高阻擋作用。

2)應用原理

鉭材料作為用于制備防止Cu原子向Si片擴散的阻擋層薄膜材料被引入半導體行業。Cu和Ta以及Cu和N之間不形成化合物,因此鉭和鉭基膜用來作為防止銅擴散的阻擋層。這個具有代表性的阻擋層厚度是0.005~0.01μm。為防止Cu原子向Si基體中擴散,用氮化鉭、硅化鉭、碳化鉭、氮化硅化鉭、氮化碳化鉭這些鉭基膜作阻擋層有很好的效果。沉積多層鉭基膜比單層鉭基膜有更好的效果。

鉭棒

3、存儲器件

氧化鉭基阻變存儲器(RRAM)具有:結構簡單、讀寫速度快、可縮小性強以及與CMOS工藝相兼容等優點。氧化鉭材料的熱穩定性很好,可以達到1100℃;介電常數很高,相對介電常數25左右;而且Ta-O之間只存在兩個穩定的相態:Ta2O5和TaO2,在1000℃高溫下這兩個相也有非常高的氧容比。

4、無源器件

1)優點

溫度電阻系數小、抗潮濕性好、穩定性高、工作頻率高、使用功率大、自鈍化、尺寸小、可靠性高。

2)應用

雷達發射機、3G通訊天線、微波功率合成器、微波功率衰減器等微波器件和系統。

3)自鈍化原理:

氮化鉭薄膜暴露在空氣中時,表面會自然形成一層氧化層,在有水汽和電壓存在的情況下保護薄膜不受侵蝕。氮化鉭片狀電阻不會由于封裝或保護涂層的完整性不佳而導致器件災難性故障。

當科研人員發現鉭本身所具備的耐高溫以及良好的延展性和防腐蝕特性的那一刻,對鉭金屬的研究便踏上了征途。目前,隨著電子市場的高速發展,電容器級鉭絲的應用領域進一步拓寬,但是由于多種原因,如生產成本的增加、資源的進一步消耗、陶瓷等電容器的競爭加劇等,又極大限制了鉭電容器的發展。因此,在國外,cabot、Starck 等著名鉭絲生產商逐漸退出了競爭市場,只有PLANSEE公司在電容器級鉭絲的生產上勉強維持運行,PLANSEE 公司的國際市場占有率在10%左右。國內,以寧夏東方鉭業股份有限公司為代表的鉭絲生產企業在近些年取得了驕人的發展,寧夏東方鉭業在國際市場的占有率在60%以上。老牌企業株州硬質合金集團(六零一)和近些年崛起的廣東多羅山藍寶石集團兩家公司也在電容器級鉭絲的生產上取得了長足的進步,兩家合占近30%的市場。近些年,電容器級鉭絲的市場用量基本維持在160 噸/年左右。

隨著軍用電容器的進步和使用,以及電容器小型化和片式化的發展,電容器級鉭絲逐漸向粗、細兩極發展。而從市場的發展趨勢看,電容器級鉭絲的市場競爭力逐漸由國外向國內轉移。因此,在機遇和挑戰并存的情況下,利用市場的轉變和自身的優勢,狠抓技術進步、提高產品質量,進一步擴大市場占有率,嚴抓管理,降低成本,進一步提高市場抗風險能力和競爭實力。

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